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产品详情
钪溅射靶材是一种高纯度的先进功能材料,广泛应用于铁电、压电、光学镀膜及特种半导体领域。产品采用高纯金属钪经精密加工成型,具有优异的薄膜均匀性、结构致密性和溅射稳定性,适用于多种物理气相沉积工艺(如磁控溅射、脉冲激光沉积等)。
应用领域
1.铁电薄膜器件:用于制备高性能铁电薄膜电容、存储器及传感器。
2.压电器件:应用于微机电系统(MEMS)、谐振器、滤波器及声表面波器件。
3.光学与电光调制:用于制备电光调制器、光学波导及特种光学涂层。
4.特种半导体:用于宽禁带半导体材料、氮化镓外延层及高频电子器件。
5.航空航天与国防:用于特种合金涂层、热障涂层及耐高温功能薄膜。
属性(理论)
属性 | 数值/描述 |
纯度 | 3N-4N (99.9-99.99%) |
形状 | 矩形靶材、圆形靶材、定制 |
尺寸 | 2英寸、8英寸、12英寸、定制 |
健康与安全信息
项目 | 说明 |
接触防护 | 操作时需佩戴防护手套、护目镜,避免皮肤或眼睛接触。 |
吸入风险 | 粉尘可能刺激呼吸道,建议在通风环境或佩戴防尘口罩下处理。 |
储存条件 | 存放于干燥、惰性气体(如氩气)保护的密封容器中,避免氧化与潮湿。 |
应急处置 | 如接触眼睛或皮肤,立即用清水冲洗并就医;若吸入粉尘,移至通风处。 |
环境影响 | 废弃靶材需按金属废料回收规范处理,避免随意丢弃。 |
包装规格
定制包装:可根据客户需求设计专用包装方案,包括真空密封、惰性气体保护及防震结构。
| 关于钪溅射靶材 |
| 钪溅射靶材是制备高性能铁电、压电及特种光学薄膜的核心原料,具有优异的介电、压电与光学性能,广泛应用于新一代信息器件、微纳系统与高端光学系统中。我们提供多种纯度、尺寸与形状的靶材产品,并支持技术定制与服务,以支持客户在科研与产业应用中的创新需求。 |