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钪溅射靶材

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产品详情

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钪溅射靶材是一种高纯度的先进功能材料,广泛应用于铁电、压电、光学镀膜及特种半导体领域。产品采用高纯金属钪经精密加工成型,具有优异的薄膜均匀性、结构致密性和溅射稳定性,适用于多种物理气相沉积工艺(如磁控溅射、脉冲激光沉积等)。

应用领域

1.铁电薄膜器件:用于制备高性能铁电薄膜电容、存储器及传感器。

2.压电器件:应用于微机电系统(MEMS)、谐振器、滤波器及声表面波器件。

3.光学与电光调制:用于制备电光调制器、光学波导及特种光学涂层。

4.特种半导体:用于宽禁带半导体材料、氮化镓外延层及高频电子器件。

5.航空航天与国防:用于特种合金涂层、热障涂层及耐高温功能薄膜。

属性(理论)

属性

数值/描述

纯度

3N-4N (99.9-99.99%)

形状

矩形靶材、圆形靶材、定制

尺寸

2英寸、8英寸、12英寸、定制


健康与安全信息

项目

说明

接触防护

操作时需佩戴防护手套、护目镜,避免皮肤或眼睛接触。

吸入风险

粉尘可能刺激呼吸道,建议在通风环境或佩戴防尘口罩下处理。

储存条件

存放于干燥、惰性气体(如氩气)保护的密封容器中,避免氧化与潮湿。

应急处置

如接触眼睛或皮肤,立即用清水冲洗并就医;若吸入粉尘,移至通风处。

环境影响

废弃靶材需按金属废料回收规范处理,避免随意丢弃。


包装规格

定制包装:可根据客户需求设计专用包装方案,包括真空密封、惰性气体保护及防震结构。



关于钪溅射靶材
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钪溅射靶材是制备高性能铁电、压电及特种光学薄膜的核心原料,具有优异的介电、压电与光学性能,广泛应用于新一代信息器件、微纳系统与高端光学系统中。我们提供多种纯度、尺寸与形状的靶材产品,并支持技术定制与服务,以支持客户在科研与产业应用中的创新需求。
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