铝钪合金溅射靶材

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产品详情

铝钪合金溅射靶材是一种高性能稀土合金功能材料，专用于高频滤波器用氮化铝压电薄膜的制备。本产品采用高纯铝与钪经精密合金化工艺制成，成分均匀稳定，具有优异的溅射性能和成膜质量，可显著提升压电薄膜的机电耦合系数与器件性能。

应用领域

1.高频滤波器：用于5G通信、射频前端及声表面波/体声波滤波器中的压电功能层。

2.微机电系统：适用于MEMS传感器、谐振器及执行器中的高性能压电薄膜。

3.半导体集成器件：用于CMOS兼容的压电材料集成，提升器件整体性能。

4.科研与特种器件：用于新型压电材料、高频声学器件及集成电子学的研究与开发。

属性（理论）

健康与安全信息

项目	说明
接触防护	操作时需佩戴防护手套、护目镜，避免皮肤或眼睛接触。
吸入风险	粉尘可能刺激呼吸道，建议在通风环境或佩戴防尘口罩下处理。
储存条件	存放于干燥、惰性气体（如氩气）保护的密封容器中，避免氧化与潮湿。
应急处置	如接触眼睛或皮肤，立即用清水冲洗并就医；若吸入粉尘，移至通风处。
环境影响	废弃靶材需按金属废料回收规范处理，避免随意丢弃。

包装规格

定制包装：可根据客户需求提供专用包装方案，包括真空密封、惰性气体保护与防震结构。

关于铝钪合金溅射靶材

铝钪合金溅射靶材是制备高性能氮化铝压电薄膜的关键原料。通过调控钪含量，可有效提高薄膜的机电耦合系数，实现高频滤波器等器件的小型化、高性能化与CMOS工艺兼容。本产品适用于5G通信、物联网及先进传感器等领域的前沿开发与量产应用。

上海斯年金属材料有限公司